全氟化橡膠Perfluoroelastomer (FFKM),FFKM的氣密性亦絕佳，耐真空度可達1.33X10-7~1.33X10-8 pa，但缺點是售價偏高，一直以來都應用在較為嚴苛的使用環境中。此外，高潔淨度之FFKM，以其極低分子揮發與微粒釋放的特性，無汙染樣品或是與環境中的酸鹼，氣體，或是電漿交互作用的疑慮，滿足了半導體各種蝕刻製程需求，而受到廣泛應用。FFKM全氟橡膠廣泛運用在半導體工業，石油化學工業，汽車工業，核能工業，宇航設備等，在愈是艱困的環境中，全氟化橡膠FFKM卓越的密封與耐受能力，

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