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力能精密有限公司
 
力能精密有限公司
經營型態：製造商 經銷商 貿易商
　　　　　零售商
所在地區：台灣 台中市 西屯區
供應產品：8
非接觸傳輸氣浮條 ,加熱型真空吸盤 ,大尺寸真空吸盤 ,消靜電陶瓷手臂 ,消靜電緻密陶瓷 ,薄板承載盤 ,空氣軸承 ,晶圓切割盤
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薄板承載盤

 2022-07-11
薄板承載盤
 
  • 高吸附力
  • 高平面度、平行度研磨
  • 孔隙率為20-25%
  • 表面粗糙度<2.0µm
  • 低電阻值抗靜電性佳多孔陶瓷
  • 厚度依客戶要求，常用0.7mm、1.0mm、2.0mm
  • 常用SiC及GaAs晶圓的承載、吸附、承載及清洗
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