是鈦的低價系列氧化物中相對較穩定的化合物，具有類金屬特性，在常溫下具有很高的導電性；與傳統的TiO2材料相比較，更具有阻溫特性好的優點。
若使用離子源輔助其沈積,可以使薄膜其膜層更加致密、均勻，提高了薄膜的穩定度；進而達到提升薄膜的光學性能與機械強度性能的目的，是目前常用的一種光學薄膜製造生產的材料。
