Galden PFPE Fluids 冷熱交換劑 ( 抗凍劑 )
另稱:氟素油,氟化油,氟素脂,氟素油脂,全氟聚醚,PFPE油脂,
Galden PFPE Fluids 冷熱交換劑 ( 抗凍劑 ) Heat Transfer Fluids:
Galden HT 應用半導體、液晶產業乾式蝕刻、 離子 注入器、化學氣相沉積等前端和末端探測器及可靠性試驗使用。
採用 Galden HT 的原因是以往採用的 DI Water 及乙 二醇存在各種的問題需要解決 ; 比傳統的熱傳導液更 適合半導體、液晶製造產業要求的新型熱傳導液。
Galden HT 優點 :
1. 實現免維修，能解決電蝕問題。能解決由 RF 洩漏引起的生產效率降低的問題。使溫度控制變得更容易。能夠解決高溫使用，對於乙二醇溶液的老化分 解、殘渣造成的循環泵的燒結問題。
2. 提高安全性、化學性能穩定、具不燃性和化學惰性等特性，所以能：有助於改進防爆對策。在發生洩漏時，因為和惰性有機金屬氣體不發生反應，所以能減少火災的危險。能夠確保高溫使用時的安全性。
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