使用於半導體﹑液晶﹑電子部品等製造設備﹑搬送設備軸承，若在軸承材質及潤滑用滑脂選用不當，因軸承及滑脂 在運轉下會產生落塵，而產生的落塵污染生產設備及環境後進而使製品產生不良，故在軸承材質及滑脂選用上十分重要，以下為TPI針對室溫大氣環境無塵室所開 發低發塵軸承介紹。
無塵室用軸承材質選用
一般市售軸承使用材質有易生銹問題，為避免金屬生銹材質選用上以耐蝕佳的不銹鋼為首選，其中為確保軸承擁有高強度及耐疲勞性，內外環及鋼珠選用擁有高硬度 的麻田散田系不銹鋼，而不承受負荷的保持器及遮蓋板則以沃斯田鐵系不銹鋼為主；另提供軸承可運轉順暢的滑脂，則需選用發塵量較低的滑脂，而TPI針對無塵 室用滑脂選用低發塵滑脂L635；下表為一般軸承及TPI針對無塵室用軸承使用材質比較。
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內環 |
外環 |
鋼珠 |
保持器 |
遮蓋板 |
滑脂 |
| 一般軸承 |
SUJ2 |
SUJ2 |
SUJ2 |
SPCC |
SPCC |
一般滑脂 |
| 無塵室用軸承 |
麻田散鐵系
不銹鋼 |
麻田散鐵系
不銹鋼 |
麻田散鐵系
不銹鋼 |
SUS304 |
SUS304 |
低發塵滑脂L635 |
三. 滑脂發塵量評價
為確認低發塵滑脂L635的發塵量性能，試驗比較對象取一般市售滑脂(2AS)及廣範使用業界的低發塵滑脂(LG2)，並委國內廠代為量測，測試報告試驗結果如下，L635滑脂發塵量明顯低於其它兩種滑脂。
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| ↑0.3μm以上粒子每分鐘發塵量 |
↑0.3μm以上粒子累積30min發塵量 |
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| ↑0.5μm以上粒子每分鐘發塵量 |
↑0.5μm以上粒子累積30min發塵量 |
四. 適用無塵室等級
依據FED-STD-209D規範在1CFM流量下Class 1000等級之落塵大小及個數要求如下表，而針對L635低發塵滑脂試驗結果，平均1CFM之0.30μm和0.50μm之個數總合分別為821及 564，可符合無塵室Class 1000等級要求；因發塵量會隨著軸承轉速的降低而下降，而本試驗軸承測試轉速為1200rpm，故本開發之無塵室用低發塵軸承使用在轉速1200rpm 以下環境可符合無塵室Class 1000等級之要求。
| Class 1000要求 (個/ft3) |
試驗結果 ( 個 /ft3 )
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| 0.3μm以上 |
0.5μm以上 |
0.3μm以上 |
0.50μm以上 |
| 2890↓ |
1000↓ |
821 |
564 |
1CFM=1(ft
3/min)
