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低發塵軸承_TPI無塵室專用軸承

2012-12-01

針對室溫大氣環境無塵室所開發低發塵軸承介紹

使用於半導體﹑液晶﹑電子部品等製造設備﹑搬送設備軸承,若在軸承材質及潤滑用滑脂選用不當,因軸承及滑脂 在運轉下會產生落塵,而產生的落塵污染生產設備及環境後進而使製品產生不良,故在軸承材質及滑脂選用上十分重要,以下為TPI針對室溫大氣環境無塵室所開 發低發塵軸承介紹。

無塵室用軸承材質選用
一般市售軸承使用材質有易生銹問題,為避免金屬生銹材質選用上以耐蝕佳的不銹鋼為首選,其中為確保軸承擁有高強度及耐疲勞性,內外環及鋼珠選用擁有高硬度 的麻田散田系不銹鋼,而不承受負荷的保持器及遮蓋板則以沃斯田鐵系不銹鋼為主;另提供軸承可運轉順暢的滑脂,則需選用發塵量較低的滑脂,而TPI針對無塵 室用滑脂選用低發塵滑脂L635;下表為一般軸承及TPI針對無塵室用軸承使用材質比較。

  內環 外環 鋼珠 保持器 遮蓋板 滑脂
一般軸承 SUJ2 SUJ2 SUJ2 SPCC SPCC 一般滑脂
無塵室用軸承 麻田散鐵系
不銹鋼
麻田散鐵系
不銹鋼
麻田散鐵系
不銹鋼
SUS304 SUS304 低發塵滑脂L635

三. 滑脂發塵量評價

為確認低發塵滑脂L635的發塵量性能,試驗比較對象取一般市售滑脂(2AS)及廣範使用業界的低發塵滑脂(LG2),並委國內廠代為量測,測試報告試驗結果如下,L635滑脂發塵量明顯低於其它兩種滑脂。

↑0.3μm以上粒子每分鐘發塵量 ↑0.3μm以上粒子累積30min發塵量
↑0.5μm以上粒子每分鐘發塵量 ↑0.5μm以上粒子累積30min發塵量

四. 適用無塵室等級

依據FED-STD-209D規範在1CFM流量下Class 1000等級之落塵大小及個數要求如下表,而針對L635低發塵滑脂試驗結果,平均1CFM之0.30μm和0.50μm之個數總合分別為821及 564,可符合無塵室Class 1000等級要求;因發塵量會隨著軸承轉速的降低而下降,而本試驗軸承測試轉速為1200rpm,故本開發之無塵室用低發塵軸承使用在轉速1200rpm 以下環境可符合無塵室Class 1000等級之要求。

Class 1000要求 (個/ft3)

試驗結果 ( 個 /ft3 )

0.3μm以上 0.5μm以上 0.3μm以上 0.50μm以上
2890↓ 1000↓ 821 564
1CFM=1(ft3/min)
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