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Spin Dryer 旋乾機 |
2013-02-04 |
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提供2"～12" wafer 在蝕刻或是清洗後的旋乾，並配有熱氮氣烘乾，以確保Wafer能完全乾燥，並降低破片機率！
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| 原產地：
台灣 |
| 編 號：SST-002 |
| 單 位：套 |
| 最少訂購量：1 |
| 交貨天數：60 天 |
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- 鑫祥科技為PSS產業特別設計水平式Spin/Rinse Dryer系列，以符合PSS產業廣大客戶需求。
- 此機台採水平方式放置Wafer，搭載多Cassette設計。
- 標準機台可用於6”以下Wafer，適用于須高産量之客戶。
- 本體分不鏽鋼與WPP朔材2種外殼，CHAMBER部分皆採SUS316不銹鋼，並經電解拋光處理。
- Cassette承載盤依客戶提供客製化設計，並經動態平衡校正，以確保旋轉時穩定性。
- 每部機台每次最多可裝載2”基板 8個Cassette或4”基板裝載4個Cassette， 6”基板裝載2個Cassette。
- 轉速，時間，溫度可依製程條件設定，時間每段次可設0~9999 sec，轉速最高爲1,500 RPM。
- 於Rinse 過程中，會先噴灑DI Water 至Chamber 內，清洗Wafer殘留物或酸溶液。之後爲Dry 過程，使用高速旋轉，利用離心力去除水珠。同時利用噴入Hot N2 (80~90℃)， 基板乾燥。並透過時間及轉數設定，可避免基板表面發生水痕現象。
- 具有Double Touch Open安全開關門裝置，及全自動與半自動方式選擇，可方便操作人員使用。
- 門蓋設計以自動 Seal 功能，確保在運轉中，能內外隔絕，增加良率， 並有溫度保護Sensor 以確保機台安全性及穩定性。
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| 公司名稱 |
鑫祥科技有限公司 |
| 經營型態 |
製造商 代理商 貿易商 零售商 |
| 公司地址 |
302台灣新竹縣竹北市沿河街193~3號 |
| 聯繫人員 |
arthur先生 /業務經理 |
| 聯絡電話 |
0932378518 |
聯絡電話2 |
03-5510529 |
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