|
|
|
 |
|
ISO14644-1:2015 法規最新修訂內容 2016-09-06 |
潔淨室標準（ISO 14644-1:2015）
潔淨室空氣潔淨度標準， 美國聯邦標準 Federal STD-209 已長時間被使用， 其定義為一立方
英呎(1ft3) 中的 0.5μm 以上的粒子數目。
目前，ISO 14644-1 已成為世界上唯一評估潔淨室等級的國際標準。
ISO 14644-1 於 1999 年發表， 在 2015 年 12 月進行了 16 年來的第一次修正。
主要修正內容
●低濃度微粒粒子上限濃度的廢除
ISO 14644-1:2015 潔淨度等級之上限濃度(個/m3)
| 潔淨室等級 |
上限濃度(個/m3) |
| ISO14644-1 |
Fed. Std-209E |
0.1 μm |
0.2 μm |
0.3 μm |
0.5 μm |
1.0 μm |
5.0 μm |
| Class 1 |
|
10 |
廢除 |
|
|
|
|
| Class 2 |
|
100 |
24 |
10 |
廢除 |
|
|
| Class 3 |
Class 1 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
廢除 |
|
| Class 4 |
Class 10 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
|
| Class 5 |
Class 100 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
廢除 |
| Class 6 |
Class 1,000 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
| Class 7 |
Class 10,000 |
|
|
|
352,000 |
83,200 |
2,930 |
| Class 8 |
Class100,000 |
|
|
|
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
| Class 9 |
|
|
|
|
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
● 潔淨室之認證測試的 95%UCL 廢除，每平方公尺的測量點數量更改（平方根的規則廢除）
修正前潔淨室的測量點最小數目為「測量點數＝√待測面積」所決定、改訂後為「Table A.1」指定的測
量點的數量。
●指定測量次數刪除
修正前，若只有一個測量點位，則該點必須測量至少三次，修正後不再要求測量次數。
「Table A.1」
| 潔淨室的面積(m2) ≦ |
最小測定點數(NL) |
| 2 |
1 |
| 4 |
2 |
| 6 |
3 |
| 8 |
4 |
| 10 |
5 |
| 24 |
6 |
| 28 |
7 |
| 32 |
8 |
| 36 |
9 |
| 52 |
10 |
| 56 |
11 |
| 64 |
12 |
| 68 |
13 |
| 72 |
14 |
| 76 |
15 |
| 104 |
16 |
| 108 |
17 |
| 116 |
18 |
| 148 |
19 |
| 156 |
20 |
| 192 |
21 |
| 232 |
22 |
| 276 |
23 |
| 352 |
24 |
| 436 |
25 |
| 636 |
26 |
| 1000 |
27 |
| >1000 |
NL=27 x (面積/1000) |
(TSI inc. 微粒子計數器)
| Model |
採樣空氣流量 |
測量粒徑範圍 |
類型 |
| 9110 |
28.3 L/min |
0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0 μm |
桌上型 |
| 9310 |
28.3 L/min |
0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10.0 μm |
| 9350 |
50 L/min |
0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10.0 μm |
| 9510 |
28.3 L/min |
0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10.0 μm |
| 9550 |
50 L/min |
0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10.0 μm |
| 9500 |
100 L/min |
0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10.0 μm |
| 9303 |
2.83 L/min |
0.3/0.5 (1.0/2.0/2.5) /5.0 μm |
手持式 |
| 9306 |
2.83 L/min |
0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10.0 μm |
| 7301/7501 |
2.83 L/min |
0.3/0.5, 0.5/5.0 μm |
遠端全場監控 |
| 7310/7510 |
28.3 L/min |
0.3/0.5, 0.5/5.0 μm |
|
| |
|
| |
|
|
|
|
|
|
|
